关于 MRG

以自主创新突破涂胶显影核心技术,成为中国半导体装备领域值得信赖的合作伙伴。

专注涂胶显影,
深耕光刻工艺装备

MRG 成立于 2012 年,总部位于苏州工业园区,是一家专注于半导体涂胶显影机 (Coater & Developer)研发、制造与服务的国家级高新技术企业。

公司产品覆盖 4-12 英寸晶圆涂胶显影设备及先进封装用厚胶涂布显影设备, 广泛应用于集成电路、功率器件、MEMS、LED、化合物半导体及先进封装等领域, 设备已批量进入国内外多家头部晶圆厂与封测厂产线。

MRG 建有超 20,000 ㎡ 的洁净装配车间与工艺验证实验室,配备完整的 Demo 产线,可为客户提供从工艺开发到量产导入的全流程支持。

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公司成立年份
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全球员工
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研发人员占比
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洁净制造基地

发展历程

十余年专注一个赛道,每一步都踏在工艺精进的节点上。

2012

公司创立

MRG 在苏州工业园区成立,组建涂胶显影机核心研发团队,确立国产替代的技术路线。

2015

首台设备下线

首台 6 英寸涂胶显影机 MRG-1000 下线并通过客户验证,实现从 0 到 1 的突破。

2018

进入量产产线

MRG-2000 系列 8 英寸设备批量交付国内头部功率器件厂商,获评国家级高新技术企业。

2021

12 英寸设备突破

MRG-3000 系列 12 英寸全自动涂胶显影机发布,通过 28nm 制程工艺验证并进入晶圆厂量产线。

2023

先进封装布局

推出 MRG-P800 先进封装涂布显影设备,切入 RDL / 2.5D / 3D 封装市场。

2026

全球化服务网络

累计装机突破 300 台,建立覆盖国内主要产业集群并延伸至海外的服务网络。

使命 · 愿景 · 价值观

使命

以精密装备赋能中国芯,让每一片晶圆都获得完美的光刻工艺。

愿景

成为全球涂胶显影设备领域的技术引领者与客户首选品牌。

价值观

极致工艺、客户成功、持续创新、坦诚协作——以工程师文化驱动长期主义。

资质与荣誉

来自行业与客户的认可,是我们持续精进的动力。

国家级高新技术企业

专精特新"小巨人"企业

ISO 9001 / ISO 14001 认证

SEMI 会员单位

与 MRG 一起,共建下一代产线

欢迎莅临苏州总部参观 Demo 产线,实地验证设备工艺表现。