旗舰机型
MRG-3000 系列
12" Coater & Developer
面向 12 英寸集成电路产线的全自动涂胶显影机，支持 KrF / ArF 光刻工艺。
- 晶圆尺寸
- 12 英寸
- 产能
- ≥ 180 WPH
从腔体设计到软件控制，MRG 在每个环节都追求极致的工艺一致性与稳定性。
闭环胶量控制与旋涂曲线优化，膜厚均匀性 ≤ ±1%，重复精度行业领先。
多段温控显影液供给系统，CD 均匀性 ≤ 1.5%，缺陷密度大幅降低。
涂胶、显影、烘烤、冷却单元自由组合，灵活适配 4-12 英寸产线与不同产能需求。
全面符合 SEMI S2 / S8 / GEM300 标准，无缝对接主流光刻机与 MES 系统。
MRG 自研工艺控制软件 MRG-PCS，实时监控旋涂转速、排风流量、 热板温度等 200+ 项工艺参数，实现全过程闭环控制。